전공정
AS-200 웨이퍼 공정 모듈
세정 조건을 로트마다 같은 기준으로 맞춥니다
200mm 웨이퍼 전처리·세정 셀에 맞춘 공정 모듈
- 150/200mm 듀얼 대응
- Class 1000 클린 대응
- SECS/GEM 옵션
- 웨이퍼 사이즈
- 150 / 200 mm
- 클린 등급
- Class 1000
- 사이클 타임
- lot-based
Products & Services
적용 공정이 먼저 보이는
제품 라인
장비 명칭보다 전공정·검사·후공정·소모 지원 분류와 핵심 스펙을 먼저 확인한 뒤, 필요한 라인만 문의하세요. 수치는 파일럿 시드이며 고객 라인에 맞게 교체됩니다.
- 전공정
- 검사
- 후공정
- 소모·지원
01 / Process matrix
공정에서 제품을 찾는 법
해결할 공정과 남겨야 할 기록을 먼저 확인한 뒤 제품 스펙을 검토하세요.
- 01
웨이퍼 전처리
세정 조건·레시피 고정
AS-200 웨이퍼 공정 모듈
- 02
광학 검사
표면 결함·이상 좌표 기록
AS-IQ 광학 검사 스테이션
- 03
패키징 이관
로트·캐리어 기준 연결
AS-PK 백엔드 패키징 셀
- 04
라인 유지
교체 주기·예비품 관리
AS-CM 공정 소모 키트
02 / 제품 4종
카드에서 결과(outcome)와 하이라이트를 보고, 상세에서 스펙 표를 확인합니다.
검사
AS-IQ 광학 검사 스테이션
이상 로트를 PDF·CSV로 바로 넘깁니다
표면 결함·패턴 이상을 로트 단위로 기록하는 검사 스테이션
- 로트 단위 리포트
- PDF / CSV 동시 출력
- 보관 정책 연동
- 해상도 클래스
- 0.5 µm class
- 리포트
- PDF / CSV
- 처리량
- line-linked
후공정
AS-PK 백엔드 패키징 셀
후공정 병목을 셀 단위로 나눕니다
다이 어태치부터 몰딩 전 단계까지 백엔드 셀 구성
- QFN / BGA 계열
- 로트·캐리어 ID
- NPI~양산 이관
- 패키지 계열
- QFN / BGA
- 트레이서빌리티
- Lot · Carrier ID
- 라인 구성
- Modular cell
소모·지원
AS-CM 공정 소모 키트
교체 주기를 로트·시간 기준으로 맞춥니다
세정·검사 라인 소모품과 교체 주기를 묶은 키트
- 필터·지그 묶음
- 교체 주기 가이드
- AS 라인 호환
- 구성
- Filter · Jig · Spares
- 교체 주기
- lot / time guide
- 호환
- AS line series
Services
제조 공정 및 서비스
시제품부터 양산 이관까지 공정·품질·전환 지원을 제공합니다.
- 01
제조 공정 지원
전공정 세정부터 후공정 패키징 셀까지, 로트 단위로 공정 조건과 검사 리포트를 맞춰 드립니다. 시제품 NPI 구간에서 반복 가능한 레시피를 먼저 고정합니다.
- 02
품질·검사 리포트
광학 검사 결과와 이상 로트를 PDF·CSV로 남기고, 고객이 지정한 보관 정책에 맞춰 이관합니다. 화면의 스펙 수치는 시연용 예시입니다.
- 03
양산 전환 동행
파일럿 라인에서 검증한 조건을 양산 라인으로 넘길 때 체크리스트·교육·초기 가동 지원을 묶어서 제공합니다.