전공정
AS-200 웨이퍼 공정 모듈
세정 조건을 로트마다 같은 기준으로 맞춥니다
200mm 웨이퍼 전처리·세정 셀에 맞춘 공정 모듈
- 150/200mm 듀얼 대응
- Class 1000 클린 대응
- SECS/GEM 옵션
Lot trace context
이 장비가 남기는 근거
아래 값은 화면 구성을 위한 샘플이며 고객 공정 양식으로 교체됩니다.
- 공정 단계
- 01
- 생성 문서
- 전처리 조건표
- 샘플 기록값
- RCP-W200-04
전공정
세정 조건을 로트마다 같은 기준으로 맞춥니다
200mm 웨이퍼 전처리·세정 셀에 맞춘 공정 모듈
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