AetherSilicon

Cleanroom process journey

공정의 조건을 맞추고
양산의 근거를 남깁니다

AetherSilicon. 웨이퍼 전처리부터 검사·패키징까지 로트 기준과 인계 기록을 연결하는 반도체 제조 파트너입니다.

제품 라인 보기공정 문의하기
  1. 01
    로트 입고

    캐리어와 로트 식별 정보를 맞춥니다.

  2. 02
    웨이퍼 전처리

    세정 조건과 작업 레시피를 기록합니다.

  3. 03
    팹 인계

    공정 입출 시각과 캐리어 이력을 연결합니다.

  4. 04
    광학 검사

    결함 좌표와 검사 리포트를 남깁니다.

  5. 05
    패키징 이관

    승인 기록과 인계 문서를 완성합니다.

샘플 · 웨이퍼
150/200 mm
샘플 · 클린 등급
Class 1000
샘플 · 공정 범위
전공정~패키징

01 / Lot trace sample

한 로트에 쌓이는
네 개의 근거

AS-2408-017은 화면 구성을 설명하기 위한 샘플입니다. 실제 계약 시 고객 양식과 승인 항목으로 교체합니다.

기업·연혁 보기 →
  1. 01공정전처리확인 항목세정 레시피기록값RCP-W200-04다음 공정에 전달조건표 · 작업자 확인

    증거 문서 · SAMPLE

    작업표 AS-WI-017

    LOT
    AS-2408-017
    기록 시각
    2026-08-04 08:42
    승인
    OP-01 · QA

    SAMPLE
    VERIFIED

  2. 02공정팹 입출확인 항목로트·캐리어기록값AS-2408-017다음 공정에 전달입출 로그 · 시간 기록

    증거 문서 · SAMPLE

    LOT TRAVELER 017

    LOT
    AS-2408-017
    기록 시각
    2026-08-04 11:18
    승인
    OP-02 · QA

    SAMPLE
    VERIFIED

  3. 03공정광학 검사확인 항목표면 결함기록값PDF + CSV다음 공정에 전달검사 리포트 · 이상 좌표

    증거 문서 · SAMPLE

    INSPECTION IQ-017

    LOT
    AS-2408-017
    기록 시각
    2026-08-05 15:06
    승인
    OP-03 · QA

    SAMPLE
    VERIFIED

  4. 04공정패키징 이관확인 항목양산 준비기록값CHECK 12/12다음 공정에 전달인계표 · 승인 이력

    증거 문서 · SAMPLE

    HANDOFF PK-017

    LOT
    AS-2408-017
    기록 시각
    2026-08-06 09:30
    승인
    OP-04 · QA

    SAMPLE
    VERIFIED

02 / Manufacturing standard

기록이 남는 공정은
다음 단계가 명확합니다

설비 스펙만 제시하지 않습니다. 공정 조건, 검사 결과, 패키징 인계가 같은 로트 기준으로 이어지도록 운영 항목을 설계합니다.

제품 라인 보기공정 문의하기
반도체 클린룸 제조 라인
샘플 · 웨이퍼
150/200 mm
샘플 · 클린 등급
Class 1000
샘플 · 공정 범위
전공정~패키징

03 / Products

라인에서 바로 검토하는 스펙

전체 제품 보기 →
AS-200 웨이퍼 공정 모듈 제품 일러스트

전공정

AS-200 웨이퍼 공정 모듈

세정 조건을 로트마다 같은 기준으로 맞춥니다

200mm 웨이퍼 전처리·세정 셀에 맞춘 공정 모듈

  • 150/200mm 듀얼 대응
  • Class 1000 클린 대응
  • SECS/GEM 옵션
웨이퍼 사이즈
150 / 200 mm
클린 등급
Class 1000
사이클 타임
lot-based
인터페이스
SECS/GEM
스펙 자세히이 제품 문의

Proof points

미팅에서 바로 확인하는 근거

01

공정 기준 문서화

레시피·검사 항목을 로트 단위로 남겨 다음 인계가 추측으로 시작되지 않게 합니다.

02

라인 맞춤 구성

모듈·셀 단위로 조합해 고객 라인 레이아웃과 납기 조건에 맞춥니다.

03

문의 응대 체계

웹 접수를 먼저 남기고, 영업·기술 담당이 남겨 주신 연락처로 회신합니다.

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