검사
AS-IQ 광학 검사 스테이션
이상 로트를 PDF·CSV로 바로 넘깁니다
표면 결함·패턴 이상을 로트 단위로 기록하는 검사 스테이션
- 로트 단위 리포트
- PDF / CSV 동시 출력
- 보관 정책 연동
Lot trace context
이 장비가 남기는 근거
아래 값은 화면 구성을 위한 샘플이며 고객 공정 양식으로 교체됩니다.
- 공정 단계
- 03
- 생성 문서
- 검사 리포트
- 샘플 기록값
- PDF + CSV
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